ASTM F1398-93(2005)
按气体分配系统成分测定总烃的测试方法

Standard Test Method for Determination of Total Hydrocarbon Contribution by Gas Distribution System Components

被代替

标准号

ASTM F1398-93(2005)

发布

1993年

总页数

10页

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM F1398-93(2012)

当前最新

ASTM F1398-93(2020)

 

 

适用范围

该测试方法的目的是定义测试考虑安装到高纯度气体分配系统中的组件的程序。应用此测试方法预计会在用于鉴定此安装的组件之间产生可比较的数据。
1.1 此测试方法涵盖在环境温度下测试组件对气体分配系统的总碳氢化合物 (THC) 贡献。此外，该测试方法允许在高达 70176C 的环境温度下测试组件。
1.2 本测试方法适用于含有气态电子级材料的在线组件，例如半导体气体分配系统中使用的组件。
1.3 局限性：
1.3.1 该测试方法受到当前仪器灵敏度以及仪器响应时间的限制。该测试方法不适用于标称外径大于 12.7 毫米（1/2 英寸）的部件。该测试方法可适用于较大的部件；然而，规定的体积流量可能无法提供充分的混合以确保样品具有代表性。较高的流速可以改善混合，但会过度稀释样品。
1.3.2 不同的仪器方法（例如氢火焰离子化检测器（FID）、质谱仪（MS））由于对不同分子种类的灵敏度不同，所得出的总碳氢化合物（THC）水平无法进行比较。高纯度气体分配系统的碳氢化合物污染物可分为两大类：(1) 不可凝结碳氢化合物 (lt;C4)，由于去除困难和相对大气丰度而存在；(2) 可凝结碳氢化合物，即通常作为残留物留在部件表面。可凝结碳氢化合物包括泵油、脱脂剂和抛光剂。
1.3.3 由于碳氢化合物种类差异巨大，建议仅在使用相同检测方法收集的数据之间进行直接比较。
1.3.4 本测试方法适合具有相当于六个月经验水平的设备使用理解的操作员使用。
1.4 以 SI 单位表示的数值应被视为标准。括号中给出的英寸-磅单位仅供参考。
1.5 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。具体危险说明见第 6 节。

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