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JEDEC JESD214.01-2017
常温老化方法以表征铜互连金属化对应力诱导空洞的特性

Room Temperature Aging Method to Characterize Copper Interconnect Metallization Against Stress-Induced Voiding

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标准号: JEDEC JESD214.01-2017
发布: 2017年
总页数: 10页
发布单位: /

JEDEC标准编号：JESD214.01

标准名称：常温老化方法以表征铜互连金属化对应力诱导空洞的特性

适用范围：

本标准描述了一种在微电子晶圆上测试铜（Cu）互连金属化结构对应力诱导空洞（SIV）敏感性的常温老化方法。该方法主要用于技术开发阶段的晶圆级生产，结果用于预测寿命和失效分析。在某些条件下，此方法也可应用于封装级别的测试。然而，由于测试时间较长，不适用于检查待发货的产品批次。

本标准假设应力诱导空洞（SIV）的增长及其电阻变化可使用Ogawa等人、Yao等人及Fischer等人的模型进行模拟，以获得中位寿命、有效激活能和加速因子。

铜互连中的应力诱导空洞：

应力迁移或应力诱导空洞（SIV）是Cu互连技术可靠性鉴定的关键方面之一。在固定单个通孔尺寸的情况下，较宽的线结构相对于较窄的线结构具有更高的固有SIV风险[1-4, 7-11]。工业标准中已通过定性处理应力迁移数据来定义合格或不合格的标准。一般行业都接受“零失效”的护带作为应力迁移（SM）资格认证的标准[8]。然而，随着技术的进一步发展，Cu SIV可靠性余量变窄，旧的传统标准可能导致更宽的可靠预测误差区间。

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FORD ESB-M28G15-A3-1989 厚度为4.8 MM的青铜涂层、反射膜涂层的热处理热吸收安全浮法玻璃***与标准FORD WSS-M99P1111-A一起使用***列于标准ESB-M28G15-A1上;使用WSS-M28P1-B5 FORD ESB-M28G15-A4-2000 在4.0mm的青铜色玻璃上涂有反射薄膜、青铜涂层的热处理浮法安全玻璃***与标准FORD WSS-M99P1111-A一起使用***使用WSS-M28P1-B5 FORD ESB-M28G15-A5-2000 在4.0mm的灰色玻璃上涂有反射薄膜、青铜涂层的热处理浮法安全玻璃***与标准FORD WSS-M99P1111-A一起使用***列于标准ESB-M28G15-A4上;使用USE WSS-M28P1-B5 FORD ESB-M28G15-A6-2000 在5.0mm的灰色玻璃上涂有反射薄膜、青铜涂层的热处理浮法安全玻璃***与标准FORD WSS-M99P1111-A一起使用***列于标准ESB-M28G15-A4上;使用USE WSS-M28P1-B5 FORD ESB-M28G15-A7-2000 在4.0mm的灰色玻璃上涂有反射薄膜、青铜涂层的热处理浮法安全玻璃***与标准FORD WSS-M99P1111-A一起使用***列于标准ESB-M28G15-A4上;使用USE WSS-M28P1-B5 FORD ESB-M28G15-A8-2000 在3.2mm的灰色玻璃上涂有反射薄膜、青铜涂层的热处理浮法安全玻璃***与标准FORD WSS-M99P1111-A一起使用***列于标准ESB-M28G15-A4上;使用USE WSS-M28P1-B5 JIS C 6481:1996 ERRATUM 1:1996 印制电路板覆铜板试验方法 JIS H 1053:1984 铜和铜合金中铅含量测定方法 JIS M 8121:1982(1994) 矿石中铜的测定方法 JIS H 1414:1976 锰铜合金化学分析方法 JIS M 7002:1984 无火花铍铜合金工具非点燃测试方法 JIS H 1052:1984 铜及铜合金中锡的测定方法 JIS H 1103:1976(1995) 电解阴极铜的发射光谱化学分析方法 JIS H 1054:1984 铜及铜合金中铁含量测定的方法 JIS M 8125:1976 铜渣中铜含量测定方法 JIS H 1552:1976(1984) 磷铜锭的化学分析方法 JIS H 1336:1976(1989) 镁合金中铜含量测定方法 JIS M 8242:1989 锰矿石中铜的测定方法 JIS H 1354:1972(1993) 铝及铝合金中铜的测定方法 JIS H 1413:1976(1996) 铜镍电阻材料化学分析方法 DVGW GW 6:1996-01 焊接式红铜旋塞及过渡连接件的要求与试验方法 DD 257-5:2003 木材防腐剂及处理木材分析方法第5部分：含锌、铜羧酸盐防腐剂溶液中羧酸类型的测定 VG 85004-8-2007 铜镍合金管路的防腐蚀保护方法 DVS 2929-4:2015-03 测量铜及铜合金半成品表面状态的方法钢板电阻焊适用性评估 JEDEC JESD214.01-2017 常温老化方法以表征铜互连金属化对应力诱导空洞的特性 MSS SP-9-2018 碰面加工黄铜铁和钢法兰 MSS SP-123-2018 用于铜水管的非铁质螺纹和焊缝管件标准做法 MSS SP-106-2019 铸造铜合金法兰和带法兰配件：第125类、第150类和第300类 PREN 17701-2:2023 植物生物刺激素特定元素的测定第2部分：镉、铅、镍、砷、铬、铜和锌总含量的测定 MSS SP-9-2024 端面加工的青铜、铁质及钢制法兰

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